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题名:
热载荷条件下TiO_2薄膜热应力有限元分析(英文)
作者: 尚鹏; 李定; 艾万君; 熊胜明
刊名: 光电工程
出版日期: 2015
卷号: 42, 期号:5, 页码:45-51
关键词: 热应力 ; 有限元方法 ; TiO2/SiO2薄膜 ; 复合过渡层
通讯作者: 尚鹏
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 在高温环境下,由于不匹配性而产生的热应力是影响薄膜结构及性能稳定性的重要因素。本文使用有限元的方法,从热应力的角度研究分析了高温环境下导致薄膜损伤的内在机理及相关可能的改善方法。仿真结果表明,在高温环境下,基板与薄膜匹配性对系统热应力的大小及结构的稳定性有非常大的影响;相比白宝石//Ti O2系统,Si//Ti O2薄膜存在较高的应力水平及边缘应力集中与突变现象;采用Ti O2+Si O2复合过渡层的方法对于降低和调控薄膜-基底应力梯度的变化有很好的作用。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6646
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2015-1034.pdf(304KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

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尚鹏,李定,艾万君,等. 热载荷条件下TiO_2薄膜热应力有限元分析(英文)[J]. 光电工程,2015,42(5):45-51.
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