IOE OpenIR  > 薄膜光学技术研究室(十一室)
离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性
李定; 熊胜明
Source Publication中国激光
Volume42Issue:1Pages:227-231
2015
Language中文
DOI10.3788/CJL201542.0107002
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良...
Keyword薄膜 氧化物薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收
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Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6645
Collection薄膜光学技术研究室(十一室)
Corresponding Author李定
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
李定,熊胜明. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性[J]. 中国激光,2015,42(1):227-231.
APA 李定,&熊胜明.(2015).离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性.中国激光,42(1),227-231.
MLA 李定,et al."离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性".中国激光 42.1(2015):227-231.
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