中国科学院光电技术研究所机构知识库
Advanced  
IOE OpenIR  > 薄膜光学技术研究室(十一室)  > 期刊论文
题名:
离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性
作者: 李定; 熊胜明
刊名: 中国激光
出版日期: 2015
卷号: 42, 期号:1, 页码:227-231
关键词: 薄膜 ; 氧化物薄膜 ; 离子束溅射 ; 中红外 ; 水吸收
DOI: 10.3788/CJL201542.0107002
通讯作者: 李定
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良...
收录类别: Ei
语种: 中文
Citation statistics:
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6645
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
2015-1008.pdf(1275KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
李定,熊胜明. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性[J]. 中国激光,2015,42(1):227-231.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李定]'s Articles
[熊胜明]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[李定]‘s Articles
[熊胜明]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 2015-1008.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace