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题名:
光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能
作者: 尚鹏; 熊胜明; 李凌辉; 田东
刊名: 光学学报
出版日期: 2014
卷号: 34, 期号:5, 页码:306-312
关键词: 薄膜 ; 光学常数 ; 透射光谱 ; Ta2O5/SiO2
通讯作者: 尚鹏
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 采用双离子溅射的方法,在硅、石英基底上制备了单层Ta2O5、SiO2及双层Ta2O5/SiO2光学薄膜。结合Cauchy色散模型,利用石英基底上单层Ta2O5及双层Ta2O5/SiO2薄膜透射光谱曲线,采用改进的遗传单纯形混合算法,获得了Ta2O5和SiO2薄膜材料在400~700nm波段的光学常数。结果表明,理论分析值与实验测量值取得了很好的一致性,拟合出的单层Ta2O5薄膜折射率误差小于0.001,膜层厚度误差不超过1nm;双层Ta2O5/SiO2薄膜最大折射率误差小于0.004,最大厚度误差小于2.5nm。此外,还对400℃高温环境下双层Ta2O5/SiO2薄膜的微观结构、应力、表面形貌...
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6635
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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2014-1039.pdf(4221KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
尚鹏,熊胜明,李凌辉,等. 光谱法确定离子束溅射Ta_2O_5/SiO_2薄膜的光学常数及其性能[J]. 光学学报,2014,34(5):306-312.
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