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题名:
平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性
作者: 郭春; 孔明东; 柳存定; 李斌成
刊名: 光学学报
出版日期: 2013
卷号: 33, 期号:2, 页码:0231002-1-5
关键词: 薄膜 ; 光学镀膜 ; 厚度均匀性 ; 修正挡板 ; 行星系统
通讯作者: 郭春
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板优化设计;研究了使用修正挡板校正薄膜厚度分布时平面行星夹具上热蒸发薄膜材料的沉积效率。实验结果表明:依据修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型优化设计的修正挡板能使口径为310mm、无倾斜放置的平面行星夹具上,由电子束热蒸发工艺制备的MgF2薄膜厚度均匀性优于99.6%,并且热蒸发MgF2薄膜材料的沉积效率高于87.4%。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6611
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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2013-1067.pdf(416KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
郭春,孔明东,柳存定,等. 平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性[J]. 光学学报,2013,33(2):0231002-1-5.
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