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题名:
用模拟退火法确定MgF_2薄膜折射率和厚度
作者: 郭春; 李斌成
刊名: 光学精密工程
出版日期: 2013
卷号: 21, 期号:4, 页码:858-863
关键词: 薄膜参数测量 ; 折射率测量 ; 膜厚测量 ; 模拟退火算法 ; MgF2
通讯作者: 郭春
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 研究了确定单层MgF2薄膜的物理厚度及其在深紫外/真空紫外波段折射率的方法。首先,利用钼舟热蒸发工艺在B270基底上制备了单层MgF2薄膜。然后,依据MgF2单层膜在不同入射角下的反射光谱,采用模拟退火方法确定了MgF2薄膜在170~260nm波段的折射率和物理厚度,并与由椭圆偏振法确定的薄膜参数进行了比较。实验显示,采用模拟退火和椭圆偏振两种方法确定的MgF2薄膜厚度分别为248.5nm和249.5nm,偏差为0.4%;而用上述两种方法在240~260nm波段确定的单层MgF2薄膜的折射率偏差均小于0.003。得到的结果证实了依据不同入射角下的反射光谱,用模拟退火方法确定MgF2薄膜厚度和折...
收录类别: Ei
项目资助者: 国家重大专项资助项目
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6609
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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2013-1053.pdf(841KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:
郭春,李斌成. 用模拟退火法确定MgF_2薄膜折射率和厚度[J]. 光学精密工程,2013,21(4):858-863.
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