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题名:
大型天文望远镜主镜镀膜技术
作者: 杜维川; 刘洪祥; 裴文俊; 王长军
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2012
卷号: 24, 期号:2, 页码:365-369
关键词: 均匀性 ; 反射率 ; 环境稳定性 ; 主镜 ; 镀膜
通讯作者: 杜维川
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350~1;800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6600
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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2012-1030.pdf(1966KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

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杜维川,刘洪祥,裴文俊,等. 大型天文望远镜主镜镀膜技术[J]. 强激光与粒子束,2012,24(2):365-369.
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