IOE OpenIR  > 薄膜光学技术研究室(十一室)
大型天文望远镜主镜镀膜技术
杜维川; 刘洪祥; 裴文俊; 王长军
Source Publication强激光与粒子束
Volume24Issue:2Pages:365-369
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract采取主镜镜面向上真空蒸镀制备方式,开展了大型天文望远镜主镜铝加介质保护反射膜技术研究。结合ZZS3200型镀膜设备真空室几何配置,对传统膜厚分布计算物理模型进行了修正,分别分析了铝膜与介质膜层膜厚均匀性。结果表明:理论分析与实验数据一致,直径2.4m范围内膜厚不均匀性约5.5%。通过优化工艺,成功制备出1.8m平面镜薄膜元件,在350~1;800nm波段范围内,膜层平均反射率88.6%,通过了环境稳定性测验。
Keyword均匀性 反射率 环境稳定性 主镜 镀膜
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6600
Collection薄膜光学技术研究室(十一室)
Corresponding Author杜维川
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
杜维川,刘洪祥,裴文俊,等. 大型天文望远镜主镜镀膜技术[J]. 强激光与粒子束,2012,24(2):365-369.
APA 杜维川,刘洪祥,裴文俊,&王长军.(2012).大型天文望远镜主镜镀膜技术.强激光与粒子束,24(2),365-369.
MLA 杜维川,et al."大型天文望远镜主镜镀膜技术".强激光与粒子束 24.2(2012):365-369.
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