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题名:
真空紫外波段铝反射膜制备
作者: 林大伟; 郭春; 张云洞; 李斌成
刊名: 光学学报
出版日期: 2012
卷号: 32, 期号:2, 页码:327-331
关键词: 薄膜 ; 铝反射膜 ; 蒸发速率 ; 真空紫外 ; 时效性 ; 紫外辐照
通讯作者: 林大伟
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为制备出在130~210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130~210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6599
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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2012-1017.pdf(2017KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

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林大伟,郭春,张云洞,等. 真空紫外波段铝反射膜制备[J]. 光学学报,2012,32(2):327-331.
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