IOE OpenIR  > 薄膜光学技术研究室(十一室)
真空紫外波段铝反射膜制备
林大伟; 郭春; 张云洞; 李斌成
Source Publication光学学报
Volume32Issue:2Pages:327-331
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract为制备出在130~210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130~210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。
Keyword薄膜 铝反射膜 蒸发速率 真空紫外 时效性 紫外辐照
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6599
Collection薄膜光学技术研究室(十一室)
Corresponding Author林大伟
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
林大伟,郭春,张云洞,等. 真空紫外波段铝反射膜制备[J]. 光学学报,2012,32(2):327-331.
APA 林大伟,郭春,张云洞,&李斌成.(2012).真空紫外波段铝反射膜制备.光学学报,32(2),327-331.
MLA 林大伟,et al."真空紫外波段铝反射膜制备".光学学报 32.2(2012):327-331.
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