| 真空紫外波段铝反射膜制备 | |
| 林大伟; 郭春; 张云洞; 李斌成 | |
| Source Publication | 光学学报
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| Volume | 32Issue:2Pages:327-331 |
| 2012 | |
| Language | 中文 |
| Indexed By | Ei |
| Subtype | 期刊论文 |
| Abstract | 为制备出在130～210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130～210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。 |
| Keyword | 薄膜 铝反射膜 蒸发速率 真空紫外 时效性 紫外辐照 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6599 |
| Collection | 薄膜光学技术研究室（十一室） |
| Corresponding Author | 林大伟 |
| Affiliation | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院研究生院 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 林大伟,郭春,张云洞,等. 真空紫外波段铝反射膜制备[J]. 光学学报,2012,32(2):327-331. |
| APA | 林大伟,郭春,张云洞,&李斌成.(2012).真空紫外波段铝反射膜制备.光学学报,32(2),327-331. |
| MLA | 林大伟,et al."真空紫外波段铝反射膜制备".光学学报 32.2(2012):327-331. |
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| 2012-1017.pdf（2017KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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