| 题名: | 真空紫外波段铝反射膜制备 |
| 作者: | 林大伟; 郭春; 张云洞; 李斌成
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| 刊名: | 光学学报
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| 出版日期: | 2012
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| 卷号: | 32, 期号:2, 页码:327-331 | | 关键词: | 薄膜
; 铝反射膜
; 蒸发速率
; 真空紫外
; 时效性
; 紫外辐照
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| 通讯作者: | 林大伟
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| 文章类型: | 期刊论文
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| 中文摘要: | 为制备出在130～210nm波段具有良好光谱性能的铝反射膜,优化设计了铝反射镜中铝层和保护层氟化镁的厚度,理论确定铝层和氟化镁保护层最佳厚度分别为80nm和33nm。采用热舟蒸发工艺,在BK7基片上制备了Al反射膜样品,获得了130～210nm波长范围内反射率均大于80%的金属铝膜。研究了铝层沉积速率和紫外辐照处理对薄膜性能的影响,并考察了铝膜光谱性能的时效性。结果表明铝层沉积速率越快,制备的铝膜反射率越高;合理地存放铝膜元件,可以长时间内保持铝膜的光谱性能。适当的紫外辐照处理能进一步提高铝膜在真空紫外波段的反射率。 |
| 收录类别: | Ei
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| 语种: | 中文
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| 内容类型: | 期刊论文
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| URI标识: | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6599
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| Appears in Collections: | 薄膜光学技术研究室（十一室）_期刊论文
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| 2012-1017.pdf（2017KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | | View
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作者单位: | 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
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| Recommended Citation: | |
林大伟,郭春,张云洞,等. 真空紫外波段铝反射膜制备[J]. 光学学报,2012,32(2):327-331.
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