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题名:
半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究
作者: 李巍; 李斌成
刊名: 物理学报
出版日期: 2009
卷号: 58, 期号:9, 页码:6506-6511
通讯作者: 李巍
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 根据调制自由载流子吸收(modulatedfree carrier absorption,MFCA)检测技术的三维理论模型,采用变间距频率扫描方式测量单晶硅样品的电子输运参数,进行了仿真与实验,对结果进行了分析;通过多参数拟合,获取了测试样品的载流子扩散系数、少数载流子寿命和前表面复合速度.仿真与实验都表明,变间距频率扫描结合多参数拟合,可以提高输运参数的测量精度.
收录类别: SCI
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6571
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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李巍,李斌成. 半导体特性的调制自由载流子吸收变距频率扫描方法研究[J]. 物理学报,2009,58(9):6506-6511.
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