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题名:
微透镜列阵光刻工艺过程的模拟与分析
作者: 董小春 ; 杜春雷 ; 陈波 ; 潘丽
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2003
期号: 12, 页码:39-42
通讯作者: 董小春
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/637
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董小春,杜春雷,陈波,等. 微透镜列阵光刻工艺过程的模拟与分析[J]. 微纳电子技术,2003(12):39-42.
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