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题名:
离轴照明空间成像的偏振光影响研究
作者: 余国彬 ; 罗先刚 ; 姚汉民
刊名: 微细加工技术
出版日期: 2003
期号: 3, 页码:22~25
通讯作者: 余国彬
收录类别: Ei
语种: 中文
ISSN号: 1003-8213
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/628
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余国彬,罗先刚,姚汉民. 离轴照明空间成像的偏振光影响研究[J]. 微细加工技术,2003(3):22~25.
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