IOE OpenIR  > 自适应光学技术研究室(八室)
纳米级针孔矢量衍射波前误差分析
王俐; 饶长辉; 饶学军
Source Publication光学精密工程
Volume20Issue:3Pages:499-505
2012
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract应用哈特曼一夏克(H-S)波前检测仪检测大数值孔径(NA)透镜时,需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定。为了制作出满足要求的高质量针孔,本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析,以获得最优针孔加工参数。基于矢量衍射理论,在会聚高斯光束照射下,计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响,衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化。分析计算显示,在NA为0.5时,为了使相对于理想球面波的波峰波谷值
Keyword光学检测 波前误差 会聚高斯光束 矢量衍射 Hartmann-shack波前检测仪 时域有限差分法
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6279
Collection自适应光学技术研究室(八室)
Corresponding Author王俐
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室,四川成都610209
2.中国科学院研究生院,北京100048
Recommended Citation
GB/T 7714
王俐,饶长辉,饶学军. 纳米级针孔矢量衍射波前误差分析[J]. 光学精密工程,2012,20(3):499-505.
APA 王俐,饶长辉,&饶学军.(2012).纳米级针孔矢量衍射波前误差分析.光学精密工程,20(3),499-505.
MLA 王俐,et al."纳米级针孔矢量衍射波前误差分析".光学精密工程 20.3(2012):499-505.
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