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题名:
纳米级针孔矢量衍射波前误差分析
作者: 王俐; 饶长辉; 饶学军
刊名: 光学精密工程
出版日期: 2012
卷号: 20, 期号:3, 页码:499-505
关键词: 光学检测 ; 波前误差 ; 会聚高斯光束 ; 矢量衍射 ; Hartmann-Shack波前检测仪 ; 时域有限差分法
通讯作者: 王俐
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 应用哈特曼一夏克(H-S)波前检测仪检测大数值孔径(NA)透镜时,需要采用纳米级针孔产生参考球面波前对H-S传感器进行标定。为了制作出满足要求的高质量针孔,本文对影响参考波前质量的各种要素进行了仿真计算和分析,以获得最优针孔加工参数。基于矢量衍射理论,在会聚高斯光束照射下,计算了针孔厚度和直径大小对衍射波前误差的影响,衍射波前中的像差成份、能量透过率、强度均匀性、针孔加工误差及光束相对针孔中心发生平移、离焦、倾斜时衍射波前误差的变化。分析计算显示,在NA为0.5时,为了使相对于理想球面波的波峰波谷值
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6279
Appears in Collections:自适应光学技术研究室(八室)_期刊论文

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2012-1187.pdf(1411KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所自适应光学国家重点实验室,四川成都610209
2.中国科学院研究生院,北京100048

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王俐,饶长辉,饶学军. 纳米级针孔矢量衍射波前误差分析[J]. 光学精密工程,2012,20(3):499-505.
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