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题名:
用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计
作者: 马平 ; 唐小萍 ; 杨春利
刊名: 电子工业专用设备
出版日期: 2003
期号: 2, 页码:36~39
通讯作者: 马平
语种: 中文
ISSN号: 1004-4507
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/627
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马平,唐小萍,杨春利. 用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计[J]. 电子工业专用设备,2003(2):36~39.
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