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题名:
模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用
作者: 舒强; 施宁平; 饶学军
刊名: 光学技术
出版日期: 2012
卷号: 38, 期号:2, 页码:202-207
关键词: 压电驱动器 ; 纳米定位 ; 精密对准 ; 模糊控制
通讯作者: 舒强
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高的要求。首先简要介绍了空间三维纳米定位台;然后将模糊控制同传统PI(比例积分)控制相结合,利用定位偏差和偏差变化率信息,通过模糊推理实时调整PI控制参数,并在VC++环境下实现了模糊自整定PI参数的控制算法。实验结果表明,该控制方法较常规PI控制器能够有效地提高响应速度,减小阶跃响应超调量,保证了控制的实时性。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6257
Appears in Collections:自适应光学技术研究室(八室)_期刊论文

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2012-1032.pdf(890KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院自适应光学重点实验室
2.中国科学院光电技术研究所
3.中国科学院研究生院

Recommended Citation:
舒强,施宁平,饶学军. 模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用[J]. 光学技术,2012,38(2):202-207.
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