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题名:
光源步进扫描实现大面积光刻
作者: 赵立新 ; 陈兴俊 ; 胡松 ; 刘业异
刊名: 电子工业专用设备
出版日期: 2003
期号: 7, 页码:52-54
通讯作者: 赵立新
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/625
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赵立新,陈兴俊,胡松,等. 光源步进扫描实现大面积光刻[J]. 电子工业专用设备,2003(7):52-54.
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