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题名:
针孔直径对自参考干涉波前传感器测量精度的影响
作者: 白福忠; 饶长辉
刊名: 物理学报
出版日期: 2010
期号: 3, 页码:1632-1637
通讯作者: 白福忠
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 离子注入硅片经高温退火后晶体结构缺陷会被修复,其在可见光波段下的光学性质趋于单晶硅,常规的可见光椭偏光谱法对掺杂影响的测量不再有效.本研究将测量波段扩展到红外区域(2—20μm),报道了利用红外椭偏光谱法测量经离子注入掺杂并高温退火的硅片掺杂层光学和电学性质的方法和结果.通过建立基于Drude自由载流子吸收的等效光学模型,得到了杂质激活后掺杂层的杂质浓度分布、电阻率和载流子迁移率等电学参数,以及掺杂层的红外光学常数色散关系,分析了这些参数随注入剂量的关系并对其物理机理给予了解释.研究表明,中远红外椭偏测量是表征退火硅片的有效方法,且测量波长越长,所能分辨的掺杂浓度越低.
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6200
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2010-041.pdf(1295KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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白福忠,饶长辉. 针孔直径对自参考干涉波前传感器测量精度的影响[J]. 物理学报,2010(3):1632-1637.
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