中国科学院光电技术研究所机构知识库
Advanced  
IOE OpenIR  > 自适应光学技术研究室(八室)  > 期刊论文
题名:
基于离焦光栅的最小二乘波前复原算法
作者: 李斐; 饶长辉
刊名: 激光与光电子学进展
出版日期: 2010
期号: 4, 页码:60-67
通讯作者: 李斐
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8nm移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种主要误差:移相误差、几何结构误差、振动误差、探测器误差(非线性误差和量化误差)、光源误差(波长不稳定和强度不稳定)、空气扰动和折射率变化误差。通过对这些误差理论分析和模拟,量化了各误差对测量精度的影响,其中移相误差、几何误差、振动误差和空气折射率误差影响最为显著。根据测量精度要求和仿真结果,得到实现纳米级测量的干涉仪系统参数和环境参数设置要求。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6188
Appears in Collections:自适应光学技术研究室(八室)_期刊论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
2010-049.pdf(828KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

Recommended Citation:
李斐,饶长辉. 基于离焦光栅的最小二乘波前复原算法[J]. 激光与光电子学进展,2010(4):60-67.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李斐]'s Articles
[饶长辉]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[李斐]‘s Articles
[饶长辉]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 2010-049.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace