| 题名: | 基于离焦光栅的最小二乘波前复原算法 |
| 作者: | 李斐; 饶长辉
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| 刊名: | 激光与光电子学进展
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| 出版日期: | 2010
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| 期号: | 4, 页码:60-67 | | 通讯作者: | 李斐
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| 文章类型: | 期刊论文
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| 中文摘要: | 为了满足高精度光学系统对光学元件纳米级的检测精度要求,提出了一种理论可实现纳米级测量的632.8nm移相菲佐干涉仪的设计方案。通过对检测凹面和凸面的632.8nm移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种主要误差:移相误差、几何结构误差、振动误差、探测器误差(非线性误差和量化误差)、光源误差(波长不稳定和强度不稳定)、空气扰动和折射率变化误差。通过对这些误差理论分析和模拟,量化了各误差对测量精度的影响,其中移相误差、几何误差、振动误差和空气折射率误差影响最为显著。根据测量精度要求和仿真结果,得到实现纳米级测量的干涉仪系统参数和环境参数设置要求。 |
| 语种: | 中文
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| 内容类型: | 期刊论文
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| URI标识: | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6188
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| Appears in Collections: | 自适应光学技术研究室（八室）_期刊论文
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| 2010-049.pdf（828KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | | View
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李斐,饶长辉. 基于离焦光栅的最小二乘波前复原算法[J]. 激光与光电子学进展,2010(4):60-67.
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