IOE OpenIR  > 自适应光学技术研究室(八室)
基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法
史国华; 饶学军; 丁志华; 张雨东; 姜文汉
Source Publication中国激光
Volume36Issue:s2Pages:210-215
2009
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract介绍了利用光学相干层析技术(OCT)实现光学表面间距测量的方法。通过采用近红外宽带光源,结合迈克尔逊干涉仪和外差探测技术,建立了一套光纤型光学相干层析系统,并利用这套系统实现了对盖玻片堆快速(500 Hz)、高灵敏度(6.7 μm)、高精度(约2.07 μm)、非接触式的光学表面间距测量,取得了较好的实验结果。该方法采用了光纤化的结构设计,使得系统紧凑、灵活,作为现有光学表面间距测量方法的补充,将在光学材料检测、光学加工、光学装校等领域具有良好的应用前景。
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6144
Collection自适应光学技术研究室(八室)
Corresponding Author史国华
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
史国华,饶学军,丁志华,等. 基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法[J]. 中国激光,2009,36(s2):210-215.
APA 史国华,饶学军,丁志华,张雨东,&姜文汉.(2009).基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法.中国激光,36(s2),210-215.
MLA 史国华,et al."基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法".中国激光 36.s2(2009):210-215.
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