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题名:
基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法
作者: 史国华; 饶学军; 丁志华; 张雨东; 姜文汉
刊名: 中国激光
出版日期: 2009
卷号: 36, 期号:s2, 页码:210-215
通讯作者: 史国华
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 介绍了利用光学相干层析技术(OCT)实现光学表面间距测量的方法。通过采用近红外宽带光源,结合迈克尔逊干涉仪和外差探测技术,建立了一套光纤型光学相干层析系统,并利用这套系统实现了对盖玻片堆快速(500 Hz)、高灵敏度(6.7 μm)、高精度(约2.07 μm)、非接触式的光学表面间距测量,取得了较好的实验结果。该方法采用了光纤化的结构设计,使得系统紧凑、灵活,作为现有光学表面间距测量方法的补充,将在光学材料检测、光学加工、光学装校等领域具有良好的应用前景。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6144
Appears in Collections:自适应光学技术研究室(八室)_期刊论文

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2009-054.pdf(1923KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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史国华,饶学军,丁志华,等. 基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法[J]. 中国激光,2009,36(s2):210-215.
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