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题名:
纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究
作者: 陈旺富
学位类别: 博士
答辩日期: 2011-05
授予单位: 中国科学院研究生院
授予地点: 北京
导师: 胡松
关键词: 投影光刻 ; 检焦技术 ; 偏振调制 ; 光弹调制
学位专业: 光学工程
语种: 中文
内容类型: 学位论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/572
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陈旺富. 纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2011.
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