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题名:
微透镜列阵衍射效应所致的串扰
作者: 张为国; 董小春; 高洪涛; 邓启凌; 吴时彬; 杜春雷
刊名: 纳米技术与精密工程
出版日期: 2010
卷号: 8, 期号:2, 页码:171-176
通讯作者: 张为国
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为消除静电吸引型微镜因存在静电吸合效应而导致的短路现象,基于电场的非均匀分布可以产生静电排斥力的原理,设计了一种静电排斥型六边形微机械反射镜.微镜包含7组驱动电极,最大的一组驱动电极由镜面和其正下方的六边形下电极组成,其他6组分别位于微镜的各条边上,其中3组为梳齿结构,另外3组为U形弹簧,镜面由3组U形弹簧支撑.利用有限元软件对微镜频率响应和暂态响应特性进行了仿真,结果表明谐振频率高达7kHz,暂态响应时间小于0.0003s.利用表面硅工艺加工出了样片,并用白光干涉仪对其静态位移特性进行了测试,在50V直流电压下微镜位移量为0.7μm.由结果可知该微镜可消除静电吸合效应.故该微镜不仅可用于对反射光进行光程和相位的调制,也可用于自适应光学系统中波前畸变的校正.
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4980
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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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张为国,董小春,高洪涛,等. 微透镜列阵衍射效应所致的串扰[J]. 纳米技术与精密工程,2010,8(2):171-176.
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