| Department | 开放室 |
| 准单色亚稳态氦原子束源系统研究 | |
| 高洪涛; 陈旭南; 陈元培 | |
| Source Publication | 微细加工技术
 |
| Volume | 20Issue:2Pages:24-27 |
| 2002 | |
| Language | 中文 |
| ISSN | 1003-8213 |
| Indexed By | EI |
| Document Type | 期刊论文 |
| Version | 出版稿 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/478 |
| Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| Corresponding Author | 高洪涛 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 高洪涛,陈旭南,陈元培. 准单色亚稳态氦原子束源系统研究[J]. 微细加工技术,2002,20(2):24-27. |
| APA | 高洪涛,陈旭南,&陈元培.(2002).准单色亚稳态氦原子束源系统研究.微细加工技术,20(2),24-27. |
| MLA | 高洪涛,et al."准单色亚稳态氦原子束源系统研究".微细加工技术 20.2(2002):24-27. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 097.pdf（187KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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