Department | 开放室 |
准单色亚稳态氦原子束源系统研究 | |
高洪涛; 陈旭南; 陈元培 | |
Source Publication | 微细加工技术
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Volume | 20Issue:2Pages:24-27 |
2002 | |
Language | 中文 |
ISSN | 1003-8213 |
Indexed By | EI |
Document Type | 期刊论文 |
Version | 出版稿 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/478 |
Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室) |
Corresponding Author | 高洪涛 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 高洪涛,陈旭南,陈元培. 准单色亚稳态氦原子束源系统研究[J]. 微细加工技术,2002,20(2):24-27. |
APA | 高洪涛,陈旭南,&陈元培.(2002).准单色亚稳态氦原子束源系统研究.微细加工技术,20(2),24-27. |
MLA | 高洪涛,et al."准单色亚稳态氦原子束源系统研究".微细加工技术 20.2(2002):24-27. |
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