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题名:
基于改进粒子滤波的光电目标跟踪算法研究
作者: 熊茂涛; 张勇; 吴钦章
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2010
卷号: 47, 期号:10, 页码:634-637+642
通讯作者: 熊茂涛
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路的结构设计。在软件处理方面,提出采用九点四线曲面拟合面阵CCD细分方法及最小二乘曲线拟合定位方法,实现光刻对准精度的进一步提高。该光刻对准方法能够克服现有对准技术的诸多缺陷,具有纳米级对准精度,能够满足纳米光刻的对准需求。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4328
Appears in Collections:光电探测技术研究室(三室)_期刊论文

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2010-188.pdf(807KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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熊茂涛,张勇,吴钦章. 基于改进粒子滤波的光电目标跟踪算法研究[J]. 微纳电子技术,2010,47(10):634-637+642.
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