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题名:
基于TIC64x+内核DSP的H.26z压缩关键模块优化
作者: 韩文俊; 张艳艳; 任国强等
刊名: 光电工程
出版日期: 2010
卷号: 37, 期号:3, 页码:39-43
通讯作者: 韩文俊
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 本文分析了离焦量对微透镜列阵成像光刻图形质量的影响,给出了系统离焦量的容差。同时提出了一种结构简单、可应用于微透镜列阵成像光刻系统调焦的新方法。并将基于该调焦方法的实验装置应用于微透镜列阵成像光刻系统,进行了光刻实验。实验表明,利用该方法对微透镜列阵成像光刻系统调焦,可得到接近微透镜列阵极限像质的光刻图形。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4325
Appears in Collections:光电探测技术研究室(三室)_期刊论文

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2010-174.pdf(275KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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韩文俊,张艳艳,任国强等. 基于TIC64x+内核DSP的H.26z压缩关键模块优化[J]. 光电工程,2010,37(3):39-43.
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