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题名:
基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究
作者: 王东旭; 任国强; 田园; 李其虎
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2010
卷号: 47, 期号:8, 页码:494-498
通讯作者: 王东旭
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着光刻机分辨力的提高,其焦深日益缩小。针对如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,对步进扫描光刻机和双工件台光刻机的调平调焦原理进行了介绍,主要包括基于双光栅的检焦测量原理及检焦扫描路径规划,把Si片表面高度信息转化为离焦量和倾斜量等调平数据的算法,以及曝光位置实现调平调焦的伺服控制系统等,并从理论上对两系统的优缺点进行了对比。最后利用一组调平实验结果说明了双工件台系统调平调焦技术的优越性,指明了调平调焦技术的发展方向。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4321
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2010-182.pdf(805KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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王东旭,任国强,田园,等. 基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究[J]. 微纳电子技术,2010,47(8):494-498.
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