IOE OpenIR  > 光电测控技术研究室(三室)
基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究
王东旭; 任国强; 田园; 李其虎
Source Publication微纳电子技术
Volume47Issue:8Pages:494-498
2010
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract随着光刻机分辨力的提高,其焦深日益缩小。针对如何充分利用有限的焦深完成Si片的高效曝光,对步进扫描光刻机和双工件台光刻机的调平调焦原理进行了介绍,主要包括基于双光栅的检焦测量原理及检焦扫描路径规划,把Si片表面高度信息转化为离焦量和倾斜量等调平数据的算法,以及曝光位置实现调平调焦的伺服控制系统等,并从理论上对两系统的优缺点进行了对比。最后利用一组调平实验结果说明了双工件台系统调平调焦技术的优越性,指明了调平调焦技术的发展方向。
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4321
Collection光电测控技术研究室(三室)
Corresponding Author王东旭
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王东旭,任国强,田园,等. 基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究[J]. 微纳电子技术,2010,47(8):494-498.
APA 王东旭,任国强,田园,&李其虎.(2010).基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究.微纳电子技术,47(8),494-498.
MLA 王东旭,et al."基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究".微纳电子技术 47.8(2010):494-498.
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