IOE OpenIR  > 光电测控技术研究室(三室)
大面阵CCD图像实时显示系统的设计
王明富; 杨世洪; 吴钦章
Source Publication微纳电子技术
Volume47Issue:9Pages:580-586
2010
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract针对纳米量级实时检焦技术中光电探测器输出的微弱电信号,提出利用双相锁相放大原理对该信号进行在线检测、放大、滤波及解调,经过一系列处理后得到硅片的实时离焦量,以确定其是否在有效焦深范围内,保证曝光质量。主要利用Matlab的Simulink工具包对这一方案的可行性进行了仿真验证。从仿真结果可以看出,基于双相锁相放大器的双相锁相放大技术能够很好地提取出硅片离焦量信号,且无需依赖移相器。该方法相对传统方法而言,能够更精确地获取硅片离焦量,有利于大幅度提高检焦精度,同时也为今后的实用化奠定了理论基础。
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4310
Collection光电测控技术研究室(三室)
Corresponding Author王明富
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王明富,杨世洪,吴钦章. 大面阵CCD图像实时显示系统的设计[J]. 微纳电子技术,2010,47(9):580-586.
APA 王明富,杨世洪,&吴钦章.(2010).大面阵CCD图像实时显示系统的设计.微纳电子技术,47(9),580-586.
MLA 王明富,et al."大面阵CCD图像实时显示系统的设计".微纳电子技术 47.9(2010):580-586.
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[王明富]'s Articles
[杨世洪]'s Articles
[吴钦章]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[王明富]'s Articles
[杨世洪]'s Articles
[吴钦章]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[王明富]'s Articles
[杨世洪]'s Articles
[吴钦章]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.