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题名:
一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析
作者: 刘志祥; 邢廷文; 蒋亚东; 吕保斌
刊名: 激光与光电子学进展
出版日期: 2015
卷号: 52, 期号:11, 页码:131-138
关键词: 测量 ; 相移剪切干涉仪 ; 调制度函数 ; 波像差
通讯作者: 刘志祥
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理,推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子,分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响,发现测量范围主要受到高级球差和大剪切比限制。设计了一维相移剪切干涉仪的可见光实验装置,在632.8 nm波长分别使用周期为9 mm、18 mm一维光栅测量了一个NA=0.25显微物镜的波像差,实验结果表明:光栅周期为18 mm时可以正确测量,光栅周期为9 mm时,调制度存在反转点,像差超出测量范围,并验证调制度函数分析结果的正确性。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4267
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2015-1080.pdf(3398KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.电子科技大学光电信息学院
3.中国科学院大学

Recommended Citation:
刘志祥,邢廷文,蒋亚东,等. 一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析[J]. 激光与光电子学进展,2015,52(11):131-138.
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