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基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计
作者: 邢莎莎; 冉英华; 江海波; 邢廷文
刊名: 光学学报
出版日期: 2015
卷号: 35, 期号:11, 页码:102-111
关键词: 成像系统 ; 照明模式变换 ; 自由照明光瞳 ; 微反射镜阵列 ; 光束整形 ; 非球面复眼
DOI: 10.3788/AOS201535.1111002
通讯作者: 邢莎莎
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 光源掩膜协同优化是45 nm节点以下浸没式光刻提高分辨率的重要途径之一,为了重构其优化后输出的像素级光源,提出了一种基于可寻址二维微反射镜阵列的新型照明模式变换系统设计方法。分析了减少重构光源所需微反射镜数量的原理,结合成像与非成像光学,利用柱面复眼透镜,获得了入射到微反射镜阵列上的非均匀的特定光强分布,基于此光强分布对微及射镜二维偏转角度进行了模拟及优化,并对该照明模式变换系统进行仿真,结果表明,光瞳重构精度小于2.5%,X,Y方向光瞳极平衡性小于0.5%,Prolith中重构光源的曝光性能仿真结果满足要求。与类似的系统相比,该系统仅用不足4000个镜单元即可达到设计要求,适用于集成度高的下...
收录类别: Ei
项目资助者: 国家科技重大专项(2012ZX02701)
语种: 中文
Citation statistics:
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4266
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2015-1069.pdf(4102KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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邢莎莎,冉英华,江海波,等. 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计[J]. 光学学报,2015,35(11):102-111.
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