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题名:
衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用
作者: 程习敏; 白瑜; 谢伟民; 邢廷文; 林妩媚
刊名: 光电技术应用
出版日期: 2014
卷号: 29, 期号:2, 页码:31-38+65
关键词: 衍射光学 ; 光刻 ; 薄膜沉积 ; 金刚石车削
通讯作者: 程习敏
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 综述了当前衍射光学元件的加工制作工艺方法,包括光刻法、薄膜沉积法、直写法、金刚石车削法、准分子激光加工法、灰阶掩模法和复制法。详细说明了这几种方法加工衍射光学元件的工艺过程,并分析了各种加工方法的优缺点。介绍了衍射光学元件在各种光谱镜头中的应用,分别给出了衍射面在可见光波段、红外波段和紫外波段系统中的具体设计实例。最后得出结论,说明衍射光学元件可以增加设计自由度,简化系统结构,减小体积,减轻质量,改善像差,提高系统成像质量。
项目资助者: 国家自然科学基金(10874181)资助
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4255
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2014-1038.pdf(2594KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
3.电子科技大学光电信息学院

Recommended Citation:
程习敏,白瑜,谢伟民,等. 衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用[J]. 光电技术应用,2014,29(2):31-38+65.
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