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题名:
子孔径拼接检测浅度非球面
作者: 王宁; 贾辛; 邢廷文
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2013
卷号: 42, 期号:9, 页码:2525-2530
关键词: 子孔径拼接 ; 非球面 ; 光学检测 ; 误差 ; 仿真
通讯作者: 王宁
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面,用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真,验证了数学模型及拼接算法的可行性,同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。
收录类别: Ei
项目资助者: 微细加工光学技术研究课题
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4250
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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2013-1113.pdf(1268KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

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王宁,贾辛,邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面[J]. 红外与激光工程,2013,42(9):2525-2530.
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