IOE OpenIR  > 应用光学研究室(二室)
点衍射干涉仪系统误差标定
许嘉俊; 邢廷文; 徐富超
Source Publication光学学报
Volume33Issue:7Pages:0712003-1-5
2013
Language中文
Indexed ByEi
Subtype期刊论文
Abstract点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。
Keyword测量 光学检测 点衍射干涉仪 双孔干涉 误差标定
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4249
Collection应用光学研究室(二室)
Corresponding Author许嘉俊
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
许嘉俊,邢廷文,徐富超. 点衍射干涉仪系统误差标定[J]. 光学学报,2013,33(7):0712003-1-5.
APA 许嘉俊,邢廷文,&徐富超.(2013).点衍射干涉仪系统误差标定.光学学报,33(7),0712003-1-5.
MLA 许嘉俊,et al."点衍射干涉仪系统误差标定".光学学报 33.7(2013):0712003-1-5.
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