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题名:
点衍射干涉仪系统误差标定
作者: 许嘉俊; 邢廷文; 徐富超
刊名: 光学学报
出版日期: 2013
卷号: 33, 期号:7, 页码:0712003-1-5
关键词: 测量 ; 光学检测 ; 点衍射干涉仪 ; 双孔干涉 ; 误差标定
通讯作者: 许嘉俊
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4249
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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2013-1097.pdf(880KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
2.中国科学院大学

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许嘉俊,邢廷文,徐富超. 点衍射干涉仪系统误差标定[J]. 光学学报,2013,33(7):0712003-1-5.
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