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题名:
可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析
作者: 许嘉俊; 邢廷文
刊名: 光电工程
出版日期: 2013
卷号: 40, 期号:2, 页码:64-70
关键词: 光学检测 ; 点衍射干涉仪 ; 矢量衍射 ; 波前分析
通讯作者: 许嘉俊
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备,其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波,理论上的检测精度能够达到纳米及纳米以下。基于有限元方法,计算了300~400nm直径针孔,在膜层厚度300nm时,存在不同形状误差时,衍射参考波前与理想波面的偏差。同时,针孔形状误差引入的衍射参考波前像差也进行了分析。针孔椭圆截面长轴为380nm,短轴为320nm时,衍射波面误差约为0.9e-3λ。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4244
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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2013-1029.pdf(2894KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所 应用光学实验室
2.中国科学院大学

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许嘉俊,邢廷文. 可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析[J]. 光电工程,2013,40(2):64-70.
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