IOE OpenIR  > 应用光学研究室(二室)
用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析
冯婕; 邓超; 邢廷文
Source Publication激光与光电子学进展
Volume49Issue:11Pages:67-72
2012
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测西187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.74nm,实现了非球面元件面形的高精度检测。
Keyword全息术 非球面检测 计算全息图 光学设计 误差分析
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4239
Collection应用光学研究室(二室)
Corresponding Author冯婕
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室,四川成都610209
2.中国科学院大学,北京100048
Recommended Citation
GB/T 7714
冯婕,邓超,邢廷文. 用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(11):67-72.
APA 冯婕,邓超,&邢廷文.(2012).用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析.激光与光电子学进展,49(11),67-72.
MLA 冯婕,et al."用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析".激光与光电子学进展 49.11(2012):67-72.
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