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题名:
用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析
作者: 冯婕; 邓超; 邢廷文
刊名: 激光与光电子学进展
出版日期: 2012
卷号: 49, 期号:11, 页码:67-72
关键词: 全息术 ; 非球面检测 ; 计算全息图 ; 光学设计 ; 误差分析
通讯作者: 冯婕
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为实现非球面元件表面面形的高精度检测,提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图(CGH)和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法,比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣,并给出了检测西187.72mm、F数为1.71的凹非球面镜的计算全息设计实例,分析了影响全息检测精度的各项误差源,计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4.74nm,实现了非球面元件面形的高精度检测。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4239
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2012-1175.pdf(821KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室,四川成都610209
2.中国科学院大学,北京100048

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冯婕,邓超,邢廷文. 用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(11):67-72.
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