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题名:
三轴离子束抛光系统驻留时间算法
作者: 李云; 邢廷文; 许嘉俊; 徐富超; 倪磊
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2012
卷号: 41, 期号:5, 页码:1300-1305
关键词: 驻留时间 ; 三轴系统 ; 离子束抛光 ; 光学加工
通讯作者: 李云
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 在光学离子束抛光工艺中,驻留时间求解是一个关键问题。多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持不变。然而,离子束在工件表面的材料去除速率与离子束入射角度有关。为此,在加工曲面工件时,通常采用精密五轴联动运动平台对离子源的运动及姿态进行实时控制,使得在加工曲面工件时离子束相对工件表面的入射角度始终保持不变,从而保证去除函数在整个离子束抛光过程中保持不变。提出了一种基于仿真加工的迭代驻留时间求解算法,在求解驻留时间的过程中考虑到入射角度带来的去除速率变化,从而使得在离子束抛光系统中只需采用三轴运动控制平台对离子源的运动进行控制,而不再需要对离子源的姿态进行实时控制。入射...
收录类别: Ei
项目资助者: 国防预研项目
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4234
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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2012-1074.pdf(774KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院

Recommended Citation:
李云,邢廷文,许嘉俊,等. 三轴离子束抛光系统驻留时间算法[J]. 红外与激光工程,2012,41(5):1300-1305.
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