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题名:
采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析
作者: 贾辛; 邢廷文; 魏豪明; 李云
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2012
卷号: 41, 期号:2, 页码:500-505
关键词: 光学检测 ; 绝对测量 ; 奇偶函数 ; 面形检测
通讯作者: 贾辛
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着现代工业和科学技术的飞速发展,特别是近代大规模集成电路技术的不断提高,对系统精度的要求日益提高。在光刻系统中,越来越短的特征尺寸要求我们使用更高精度的光刻物镜。在这之前我们需要更高精度的检测技术来满足加工及系统集成的需要。高精度移相干涉仪的测量结果包含了待测面和参考面的误差,移相干涉测量法的测量精度受限于参考面的精度。绝对测量方法通过移除参考面的误差,从而达到提高测量精度的目的。回顾了光学平面面形绝对测量方法,重点描述了基于奇偶函数的绝对测量方法。分析了旋转角度误差对测量结果的影响,通过旋转更小的角度求出了高阶面形拟合分量,给出了求高阶面形拟合分量的通项公式。
收录类别: Ei
项目资助者: 国家自然科学基金(10874181)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4231
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2012-1040.pdf(949KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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贾辛,邢廷文,魏豪明,等. 采用奇偶函数法的平面面形绝对测量技术仿真分析[J]. 红外与激光工程,2012,41(2):500-505.
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