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题名:
可见光二维小孔矢量衍射分析
作者: 许嘉俊; 邢廷文
刊名: 光学学报
出版日期: 2011
卷号: 31, 期号:12, 页码:1205003-1-6
通讯作者: 许嘉俊
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 现代精密光学系统的发展,对光学元件的加工和检测提出了非常严格的要求,达到纳米量级。相移式点衍射干涉仪是一种应用在纳米精度检测中的常用干涉仪,其参考波前由直径在几百纳米量级的小孔衍射产生,其衍射波前与理想波面的误差,决定了干涉仪的检测精度。基于有限元方法,计算了聚焦入射情况下,不同直径小孔的衍射波面。分析了聚焦斑发生对准误差和倾斜误差下,对衍射波面的影响。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4220
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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许嘉俊,邢廷文. 可见光二维小孔矢量衍射分析[J]. 光学学报,2011,31(12):1205003-1-6.
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