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题名:
二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响
作者: 殷可为; 黄智强; 林妩媚; 邢廷文
刊名: 光电工程
出版日期: 2011
卷号: 38, 期号:9, 页码:46-49+54
通讯作者: 殷可为
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 横向加工误差包括对准误差和线宽误差,加工误差对衍射效率的影响是二元光学元件研究的重要问题。本文基于标量衍射理论,提出了一种与MATLAB相结合的分层计算方法,重点分析了4阶和8阶二元光学元件横向加工误差和衍射效率的关系。结果表明,控制8阶二元光学元件对准误差,可抑制衍射效率的迅速下降,适当调整线宽能够减小对准误差造成的影响。这些结果对二元光学元件的加工有重要的参考价值。该方法简便且适用性强,可对二元光学元件的加工误差进行准确分析。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4218
Appears in Collections:应用光学研究室(二室)_期刊论文

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2011-02-009.pdf(1411KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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殷可为,黄智强,林妩媚,等. 二元光学元件横向加工误差对衍射效率的影响[J]. 光电工程,2011,38(9):46-49+54.
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