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题名:
UV_LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究
作者: 余国彬 ; 姚汉民 ; 胡松
刊名: 微细加工技术
出版日期: 2002
卷号: 20, 期号:3, 页码:40--43
通讯作者: 余国彬
收录类别: EI
语种: 中文
ISSN号: 1003-8213
内容类型: 期刊论文
版本: 出版稿
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/421
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余国彬,姚汉民,胡松. UV_LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究[J]. 微细加工技术,2002,20(3):40--43.
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