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题名:
阶线性调频算法研究
作者: 王宗友; 付承毓; 徐智勇; 贺东
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2010
卷号: 1, 页码:41-44
通讯作者: 王宗友
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象,基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理,设计了一种新型的微机电系统变形镜驱动器。驱动器由5组电极构成,最大的一组由中心质量块和位于正下方的下电极组成,其它4组分别位于各条边上。中心质量块由4根L形弹簧支撑,每根弹簧分别固定于驱动器的4个锚点。利用有限元软件对驱动器的频率响应和暂态响应特性进行了仿真,结果表明,谐振频率高达4 kHz,暂态响应时间小于0.05 s。利用表面硅工艺加工出了驱动器,并利用白光扫描干涉仪对驱动器的静态位移电压特性进行了测试,测得驱动器在70 V激励电压下的形变量为1.4 μm。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4069
Appears in Collections:光电工程总体研究室(一室)_期刊论文

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作者单位: 中国科学院光电技术研究所

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王宗友,付承毓,徐智勇,等. 阶线性调频算法研究[J]. 强激光与粒子束,2010,1:41-44.
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