中国科学院光电技术研究所机构知识库
Advanced  
IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文  > 学位论文
题名:
离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究
作者: 李定
学位类别: 硕士
答辩日期: 2015-05
授予单位: 中国科学院研究生院
授予地点: 北京
导师: 熊胜明
关键词: 薄膜,离子束溅射,中红外,水吸收,光学常数
学位专业: 光学工程
中文摘要: 中红外2-6μm波段是红外探测器和化学激光器的主要工作波段之一,应用在这一波段的光学薄膜材料主要是氟化物、硫化物和硒化物等软膜材料。氧化物具有优越的机械特性和环境稳定性,已广泛的应用于可见近红外波段,制备高性能光学薄膜。但是关于氧化物在中红外波段的研究及应用很少有相关报导,开展这方面的工作,对拓宽氧化物薄膜的应用范围,解决传统红外薄膜材料环境稳定性、附着力差等问题,具有重要意义。
本文针对离子束溅射制备的氧化物薄膜在中红外波段的特性,包括光学特性、微结构、环境稳定性等进行了较为系统的研究,并设计制备了中红外多层高反膜。具体研究内容包括以下几个方面:
1.用离子束溅射方法制备了几种常用的单层氧化物薄膜,测试研究了薄膜的中红外光谱、光学常数、表面形貌、应力以及环境稳定性等特性。
2.比较了色散模型拟合法和K-K变换方法这两种光学常数获取方法各自的特点和不足之处,将两种方法相结合,用拟合透射率代替光谱仪不能测试的波段范围,并通过改变K-K变换中被积函数的形式,有效提高了K-K方法的计算精度。
3.设计并制备了中红外2.7μm及3.8μm反射膜,测试并分析了薄膜的光谱特性、断面结构特性以及退火特性。
4.针对制备的高反膜膜厚不匹配问题,提出离子束溅射沉积速率随时间缓慢下降的假设,并分别通过SEM断面图像分析方法和透反射率拟合方法,来探索制备的高反膜中膜层厚镀随层数变化的规律,两种方法所得结果较为一致,理论计算的光谱和实测光谱的吻合程度也大大提高。
语种: 中文
内容类型: 学位论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3030
Appears in Collections:光电技术研究所博硕士论文_学位论文

Files in This Item:
File Name/ File Size Content Type Version Access License
毕业论文-李定.pdf(3094KB)学位论文--限制开放View 联系获取全文

作者单位: 中国科学院光电技术研究所

Recommended Citation:
李定. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2015.
Service
Recommend this item
Sava as my favorate item
Show this item's statistics
Export Endnote File
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[李定]'s Articles
CSDL cross search
Similar articles in CSDL Cross Search
[李定]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
Add to CiteULike Add to Connotea Add to Del.icio.us Add to Digg Add to Reddit
文件名: 毕业论文-李定.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Copyright © 2007-2016  中国科学院光电技术研究所 - Feedback
Powered by CSpace