IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文
大口径凸抛物面的检测技术研究
张永红
Subtype硕士
Thesis Advisor陈强
2015-05
Degree Grantor中国科学院研究生院
Place of Conferral北京
Degree Discipline测试计量技术及仪器
Keyword凸非球面 非球面样板 干涉测量 计算全息 Zemax
Abstract光学产品的应用越来越广泛,小到我们日常生活中必不可少的眼镜、手机、照相机、摄像机等,大到天文学等高科技技术领域。近年来大口径光学系统得到了开发和研制,突显出了非球面光学元件的优势,在合适的位置添加非球面光学元件,不仅可以很好的改善系统性能,还可以使系统轻量化、小型化等。凸非球面广泛应用于反射系统,众所周知,凸非球面比较难检,虽然目前国内外有几种可行的检测方法,但是每种方法都有比较明显的局限性,随着凸非球面反射镜的口径进一步增大,这些方法就不再实用和合适了。本文充分调研了大口径凸非球面的检测方法,进行了详细的对比分析,并结合目前国内加工以及检测技术水平,以凸抛物面作为实验件,确定了非球面样板法检测凸抛物面反射镜的方案,介绍了该方法的检测原理和检测光路。
非球面样板法测量凸抛物面属于零位干涉测量,样板凸面作为照明系统必不可少的部分,对它的面形精度要求不是很高,样板凹面作为参考面,从样板出射的波前必须和被测凸非球面反射镜的理论形状一致,这也是设计样板时最为重要的原则。非球面样板的设计和优化均是在ZEMAX中完成的,从设计结果可以看出,样板两面均是非球面,口径略大于被测面,非球面样板法检测凸抛物面实验系统中最关键的是非球面样板的设计和制作,为了保证和提高实验精度,采用计算全息来标定非球面样板及整个系统,反射型标校全息也是基于ZEMAX软件设计的,得到设计参数后,在MATLAB软件中编译了求解标校全息加工工艺参数的程序,得到了用于指导加工的工艺参数。为了方便以后的设计,编译了反射型标校全息专用设计软件。
本文搭建了利用计算全息标校实验系统误差实验平台,搭建了利用非球面样板检测凸抛物面的实验平台,实验很好的验证了非球面样板法的可行性及可靠性。最后详细分析了实验中的误差,包括非球面样板误差、CGH误差和调整误差。
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/3014
Collection光电技术研究所博硕士论文
Affiliation中国科学院光电所
Recommended Citation
GB/T 7714
张永红. 大口径凸抛物面的检测技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2015.
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