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题名:
激光平面度仪的研究
作者: 杨文志 ; 景洪伟 ; 曹学东
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2008
卷号: 37, 期号:z, 页码:144
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备—激光平面度仪。该仪器采用了激器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1007-2276
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2102
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杨文志,景洪伟,曹学东. 激光平面度仪的研究[J]. 红外与激光工程,2008,37(z):144.
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