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题名:
用双计算全息图检测凹非球面
作者: 谢意 ; 陈强 ; 伍凡 ; 侯溪 ; 张晶 ; 吴高峰
刊名: 光学学报
出版日期: 2008
卷号: 28, 期号:7, 页码:1313-1317
学科分类: 先进光学加工与检测技术
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ。通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06λ。为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062λ)比较,结果二者吻合良好。
收录类别: Ei
语种: 中文
ISSN号: 0253-2239
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2099
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谢意,陈强,伍凡,等. 用双计算全息图检测凹非球面[J]. 光学学报,2008,28(7):1313-1317.
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