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自支撑Cu/Zr纳米多层膜的制备研究
作者: 苑永涛 ; 方敬忠 ; 刘红 ; 陈志强
刊名: 光学仪器
出版日期: 2008
期号: 6, 页码:82-85
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 自支撑纳米多层膜可用作轻型反射镜面材料,自支撑薄膜的制备技术是目前应用中存在的主要问题之一.利用磁控溅射方法在抛光石英玻璃基片上复制了直径70mm厚约100μm自支撑Cu/Zr纳米多层膜,使用显微硬度计、表面轮廓仪分析了自支撑薄膜的力学性能和表面粗糙度.研究结果表明:自支撑Cu/Zr纳米多层膜面密度0.5kg/m2,显微硬度5.7GPa,屈服强度1562MPa,复制面表面粗糙度1.33~1.93nm.复制的自支撑薄膜具有优异的力学及表面性能.
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1005-5630
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2094
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苑永涛,方敬忠,刘红,等. 自支撑Cu/Zr纳米多层膜的制备研究[J]. 光学仪器,2008(6):82-85.
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