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题名:
热蒸发YbF_3薄膜的机械特性
作者: 张殷华 ; 黄伟 ; 张云洞
刊名: 强激光与粒子束
出版日期: 2008
卷号: 20, 期号:8, 页码:1306-1308
学科分类: 光学薄膜技术
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 实验研究了热蒸发YbF3薄膜在大气中的应力和附着力。利用Veeco干涉仪,测试了各种工艺条件下单层YbF3薄膜的应力。结果发现:YbF3薄膜的残余应力为张应力,热应力在残余应力中的比重较大;沉积方式对薄膜应力的影响不大;薄膜应力在大气中有一个释放的过程。热处理后,YbF3薄膜应力增大。
收录类别: Ei
语种: 中文
ISSN号: 1001-4322
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2088
Appears in Collections:薄膜光学技术研究室(十一室)_期刊论文

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张殷华,黄伟,张云洞. 热蒸发YbF_3薄膜的机械特性[J]. 强激光与粒子束,2008,20(8):1306-1308.
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