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题名:
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究
作者: 王大甲 ; 胡放荣 ; 姚军 ; 邱传凯 ; 王爱娜
刊名: 传感技术学报
出版日期: 2008
卷号: 21, 期号:8, 页码:196-197
学科分类: 微细加工技术
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模式下的有限元计算,发现各种梁自由端的偏移量相同,表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后,对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1004-1699
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2060
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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王大甲,胡放荣,姚军,等. 基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究[J]. 传感技术学报,2008,21(8):196-197.
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