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题名:
MEMS可变电容的研究现状及进展
作者: 李玲玉 ; 童富 ; 杨月寒 ; 赵建明 ; 刘海文
刊名: 微纳电子技术
出版日期: 2008
卷号: 45, 期号:5, 页码:287-292
学科分类: 微细加工技术
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 介绍了微机电系统(MEMS)技术以及MEMS可变电容器,基于MEMS的可变电容具有高Q值、低损耗、宽调节范围和低噪声等优点,阐述了MEMS可变电容器设计的基本原理,列举了现有的几种典型结构模型。通过指定频率下Q值及调谐范围的具体数值,比较不同结构的MEMS可变电容的特点,展望了MEMS可变电容的发展并得出结论。
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1671-4776
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/2056
Appears in Collections:微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)_期刊论文

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李玲玉,童富,杨月寒,等. MEMS可变电容的研究现状及进展[J]. 微纳电子技术,2008,45(5):287-292.
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