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题名:
步进投影数字光刻技术研究
作者: 徐文祥
刊名: 中国仪器仪表
出版日期: 2008
期号: 12, 页码:48-50
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色.主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成像技术、照明均匀化处理技术、CCD同轴调焦及对准技术等,并利用该技术进行了分辨率测试和灰度图形曝光实验.实验结果表明该技术在微细加工领域达到国内先进水平.
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1005-2852
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1926
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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徐文祥. 步进投影数字光刻技术研究[J]. 中国仪器仪表,2008(12):48-50.
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