IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
步进投影数字光刻技术研究
徐文祥
Source Publication中国仪器仪表
Issue12Pages:48-50
2008
Language中文
ISSN1005-2852
Indexed By其他
Subtype期刊论文
Abstract随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色.主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成像技术、照明均匀化处理技术、CCD同轴调焦及对准技术等,并利用该技术进行了分辨率测试和灰度图形曝光实验.实验结果表明该技术在微细加工领域达到国内先进水平.
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1926
Collection微电子装备总体研究室(四室)
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GB/T 7714
徐文祥. 步进投影数字光刻技术研究[J]. 中国仪器仪表,2008(12):48-50.
APA 徐文祥.(2008).步进投影数字光刻技术研究.中国仪器仪表(12),48-50.
MLA 徐文祥."步进投影数字光刻技术研究".中国仪器仪表 .12(2008):48-50.
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