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题名:
接近式光刻机间隙分离机构设计
作者: 佟军民 ; 宁玉伟 ; 严伟 ; 胡松
刊名: 机械设计与制造
出版日期: 2008
期号: 7, 页码:43-44
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构。该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成。采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力。试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要。
收录类别: 其他
语种: 中文
ISSN号: 1007-9483
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1925
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佟军民,宁玉伟,严伟,等. 接近式光刻机间隙分离机构设计[J]. 机械设计与制造,2008(7):43-44.
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