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题名:
消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究
作者: 郭小伟 ; 杜惊雷 ; 陈铭勇 ; 杜春雷
刊名: 光学学报
出版日期: 2007
卷号: 36, 期号:3, 页码:462-466
通讯作者: 郭小伟
文章类型: 期刊论文
收录类别: 其他
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1738
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郭小伟,杜惊雷,陈铭勇,等. 消除数字光刻像素栅格衍射影响的研究[J]. 光学学报,2007,36(3):462-466.
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