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题名:
无掩模表面等离子激元干涉光刻
作者: 杜惊雷 ; 郭小伟 ; 郭永康 ; 罗先刚 ; 杜春雷
刊名: 激光与光电子学进展
出版日期: 2007
卷号: 44, 期号:2, 页码:18
通讯作者: 杜惊雷
文章类型: 期刊论文
收录类别: 其他
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1736
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杜惊雷,郭小伟,郭永康,等. 无掩模表面等离子激元干涉光刻[J]. 激光与光电子学进展,2007,44(2):18.
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