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题名:
Photon sieve array X-ray maskless nanolithography
作者: Cheng, GX ; Xing, TW ; Lin, WM ; Zhou, JM ; Qiu, CK ; Liao, ZJ ; Yang, Y ; Hong, L ; Ma, JL
刊名: Proceedings of SPIE
出版日期: 2007
卷号: 6517, 页码:651736.1-651736.6
通讯作者: Cheng, GX
文章类型: 期刊论文
收录类别: Ei
语种: 英语
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/1735
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Cheng, GX,Xing, TW,Lin, WM,et al. Photon sieve array X-ray maskless nanolithography[J]. Proceedings of SPIE,2007,6517:651736.1-651736.6.
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